高频声表面波器件在现代无线通讯领域的应用范围越来越广泛，在要求高频的同时，也要求较高的稳定性和较好的综合性能。针对声表面波器件的频率越来越高，高频声表面波器件的制备研究正沿着3个方向进行：

1、薄膜材料的应用，随着声表面波器件使用频率的提高，各种性能的薄膜材料将越来越多地应用于声表面波器件的制作。

2、电极的刻蚀技术，由光刻到电子束刻蚀、X射线刻蚀等，能够制出周期越来越小的电极。

3、基体材料越来越硬，以便获得很高的声速，金刚石在所有材料中具有最高的杨氏模量，能够得到更高的声表面波传播速度，成为制作高频声表面波器件基体的首选材料。